摘要:干凈廠房是我國的耗能大戶之一。據不完整統計，干凈室的能耗是一般寫字樓的10~3O倍。我國的8英寸芯片廠，干凈室單位面積能耗比美國同類型工廠高15%（美國耗能1.28kw/m2~2.63kW/m2,而我國耗能1.48kW/m2~1.93kW/m2）。以上海某聞名芯片廠為例，其全年耗電量的51%是用于干凈室運轉及相關的維護，假設將這51%的能耗合理降低，對企業來說就意味著利潤的增加。
因此，干凈室下流相關職業企業越來越注重干凈室的節能問題。這就懇求干凈室工程職業企業，從客戶需求啟航，從規劃理念、制作......
干凈廠房是我國的耗能大戶之一。據不完整統計，干凈室的能耗是一般寫字樓的10~3O倍。我國的8英寸芯片廠，干凈室單位面積能耗比美國同類型工廠高15%（美國耗能1.28kw/m2~2.63kW/m2,而我國耗能1.48kW/m2~1.93kW/m2）。以上海某聞名芯片廠為例，其全年耗電量的51%是用于干凈室運轉及相關的維護，假設將這51%的能耗合理降低，對企業來說就意味著利潤的增加。
因此，干凈室下流相關職業企業越來越注重干凈室的節能問題。這就懇求干凈室工程職業企業，從客戶需求啟航，從規劃理念、制作施工、設備裝備及運轉等各個方面停止節能規劃，只需采取全方位的節能技能，整個干凈室職業才華繼續、良性展開。
空氣分子污染AMC作為IC工廠最關懷的問題于20年前最先由日自己提出，近年來，國際Ic卡技能展開疾速，IC芯片日益微型化，目前曾經有贏徑為0.4lilln的國際最小的非觸摸型無線射頻辨認芯片。AMC對當前的IC消費其潛在的污染比粒子污染要普遍多，粒子污染操控只需求肯定粒徑及個數，但對AMC操控而言，除了受芯片線寬的削減而變化外，并受工藝、工藝設備、工藝材料及傳送體系等的影響。
更有甚者用于某一工序的各種工藝材料（化學品、特種氣體等）在許多情況下其微量的分子剩余對下一工序常常或許就是污染物。因此，IC消費過程中的某些加工工序及工序問的材料傳送和存放環境中，AMC已成為嚴重影響廢品率的重要問題，AMC分子操控技能成為干凈室規劃與施工建立的干流趨向。目前，國內的干凈室工程職業企業中曾經開端從事此方向的研討。
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